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研磨抛光液

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类球型团聚金刚石研磨液

类球型团聚金刚石研磨液利用其球形多刃角的特性,在研磨抛光过程中能够保持高磨削力的同时不易产生划伤,广泛应用于蓝宝石、碳化硅、氮化镓等硬脆材质的研磨。

主要特征
具有类球形外形特征,微观呈现多刃结构,略呈天然矿物光泽;
较高的切削能力,并保证高精密的抛光效果;
粒度分布范围窄,能得到均一的表面粗糙度;
产品质量稳定,批次之间差异小;
能够达到超高纯度,主要杂质含量在100ppm以下。


粒度分布和应用场景

型号

成品
规格

粒径(μm)

应用场景

D50

配套耗材

加工对象

DL0520W

0-0.5μm

2-5μm

铜盘、聚脂研磨垫

晶圆精磨

DL1030W

0-1μm

3-6μm

铜盘、聚脂研磨垫

晶圆精磨

DL1522W

1-2μm

15-25μm

树脂研磨垫

晶圆中磨

DL3035W

1-3μm

25-35μm

树脂研磨垫

光学晶片精磨

DL4045W

2-4μm

35-45μm

树脂研磨垫

陶瓷器件研磨


应用领域

半导体晶片加工:主要包括蓝宝石衬底片、碳化硅晶片、蓝宝石窗口片等;
陶瓷材料加工:氧化锆指纹识别片、氧化锆陶瓷手机后壳及其它功能陶瓷;
金属材料加工:不锈钢、模具钢、钛合金及其它金属材料。

包装规格

1000ml / 8000ml,瓶装/桶装(可根据客户需求定制)

储存方式

本品需在0℃以上储存,防止结冰,在零度以下因产生不可再分散结块而失效。

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